ASML 交货第一台 YieldStar 385 系统软件，可考虑 3 纳米技术工艺规定

发布时间：2021-01-21 22:15:25发布人：未知资讯

1月21日信息，ASML顾客交货了第一台 YieldStar 385 系统软件，能够考虑3纳米技术工艺的规定。与之前的系统软件对比，关键的提高作用包含迅速的操作台和更快的光波长转换，这能够完成高精密的套准精确测量和应用好几个光波长的机器设备配对。

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